"Александр Исаакович Китайгородский. Новый этап в развитии физики рентгеновских лучей" - читать интересную книгу автора

двойников, напряжений и пр. Самые различные приемы наблюдения дифракции
рентгеновских лучей пригодны для этой цели. Кристалл можно рассматривать в
отраженном свете, можно также исследовать отдельные лауэвские отражения.
Информация о дефектах содержится в распределении интенсивности поперек
дифрагированного луча. Полная картина дефектов может быть получена путем
разного типа взаимных перемещений рентгеновского луча и объекта.
Этот метод изучения кристаллов представляет большой практический
интерес для микроэлектроники. Не удивительно, что топография кристаллов
превратилась в большую отрасль рентгеновской оптики. Статьи Отье и Гартманна
рассматривают лишь две главы этой дисциплины. Метод секционной топографии,
разработанный Отье и другими исследователями, представляет особый интерес
для тех случаев, когда мы хотим получить сведения о глубине распределения
дефектов в относительно толстых образцах.
Метод секционной топографии заставляет прибегнуть к довольно сложной
теории (динамическая теория интерференции), связывающей "вид" дифракционного
пятна со структурой кристалла с малым числом дефектов. Задача получения
информации о структуре по данным об искажении волнового поля внутри
кристалла далеко не тривиальна.
Наблюдение статической картины дислокаций оставляет многих
исследователей и инженеров не удовлетворенными. Требуется метод, который
позволял бы следить за перемещениями дефектов под действием внешних сил или
изменения температуры.
Естественно, что в этом случае фотографический метод наблюдения
желательно заменять установкой, которая позволяет перенести дифракционное
пятно на телевизионный экран.
В статье Гартманна рассмотрена техника такого наблюдения. Фотопластинка
заменяется флуоресцирующим экраном, изображение увеличивается оптическими
приемами и после этого подается на телевизионный экран. Великолепные
фотографии разных объектов показывают, что такая "динамическая топография"
приводит к замечательным результатам. Трубки с вращающимся анодом дают
удовлетворительные результаты, но в этом методе преимущества синхротронного
излучения весьма существенны и, возможно, в ряде случаев заставят забыть о
дороговизне метода. Важно не только то, что интенсивность излучения может
быть увеличена на порядок. Существенна возможность работы с длинами волн
около 3 A , а также много меньшая расходимость пучка.
Для того чтобы наблюдать динамику дефектов, приходится предъявлять
большие требования к детектору. Пространственное разрешение должно быть
порядка нескольких миллимикрон, а временное не хуже 1 сек . Флуоресцирующий
экран должен быть мелкозернистым (несколько миллимикрон) и хорошо поглощать
рентгеновские лучи. В настоящее время ведутся работы по получению подходящих
материалов и имеются надежды удовлетворить всем этим высоким требованиям.
Сборник обзоров представляет существенный интерес как для специалистов
в области физики рентгеновских лучей, так и для лиц, изучающих дефекты
кристаллов. Не должны обойти вниманием эту книгу и исследователи, работающие
в области микроэлектроники.