"Сергей Кутолин. Круг моих научных интересов как практика реальной рефлексии" - читать интересную книгу автораоктября I960.
Выбор условий плазмохимического травления кремния и его окисла в ВЧ-тлеющем разряде. //Соавторы: С.Н.Рябов, Г.М. Сви-нарев.-23-областная чаучно-техн.конф., посвящен-ная Дню радио. Микроэлектроника. Новосибирск: 23-25 апреля 1980. Исследование процессов травления кремниевых структур и полимеризация в плазме фторуглеродов. //Соавторы: С.Н.Рябов.-I Всес.конференция по физике и технологии тонких пленок (явления переноса).-Ивано-Франковск: 11-13 мая 1981. Электропроводность пленок теллурида свинца и теллурида свинца-олова, полученных ионно-плазменным распылением. //Со-авторы: Н.И.Бойкин, Ж.Г.Алиев, З.Г.Алиева. Там же. -Ивано-Франковск: 11-13 мая 1981. Влияние частоты генератора на характеристики плазмы в процессах плазмохимического травления полупроводников. //Со-авторы: С.Н.Рябов.-П-Всес.научно-техн. семинар "Пути повыше-ния стабильности и надежности микроэлементов и микросхем. Рязань:17-19 июня 1981. Прогнозирование на ЭВМ механизма химических реакций и дефектообразования в твердой фазе как функции электронного строения и состава многокомпонентной системы. //Соавторы: С.Н. Комарова, Ю.А.Фролов.-8-й Всес. симпозиум по меха-ноэмиссии и механохимии твердых тел. -Таллин: 1-3 сентября 1981. Прогнозирование на ЭВМ цветности стекол как санкции электронного строения и состава красителя. //Соавторы: А.Н. Нейч, С.Н.Комарова, Н.Н.Бойкина, Б.А.Кауппонен.-V-Всеc. сим-позиум "Оптические и спектральные свойства стекол".-Рига: 12-14 октября 1982. интерпретации.-VI-Всес.конференция "Методы промыш-ленного получения, свойства и области применения тугоплавких карбидов, сплавов и композиций на их основе". -Волжск: 16-18 февраля 1982. Моделирование на ЭВМ высокотемпературного синтеза тугоплавких соединений (карбидов); Прогнозирование на ЭВМ физико-химических свойств карбидов переходных металлов на основе их электронного строения.-Там же. Волжск: I6-.I8 февраля 1982. Термодинамика опаловых стеклообразующих систем. //Соав-торы: А.И.Нейч, С.Н.Комарова, Н.В.Гладкова.-Областная научная конференция по химии и химической технологии, посвященной 60-летию образования СССР.-Томск: 25-27 мая 1982. Технология неметаллических конструкций и материалов. Моделирование на ЭВМ и перспектива прогноза. //Соавторы: В.В. Трошин.-VIII Всеc.конференция "Конструкции и техно-логия получения изделий из неметаллических материалов".-Обнинск: 25-27 октября 1982. Технологические и оптические свойства селенового рубина, содержащего фтор. //Соавторы:А.И.Нейч, Б.А.Кауппонен, С.Н.Ко-марова.-Там же. Обнинск: 25-27 октября 1982. Некоторые вопросы прогнозирования свойств пленок в за-висимости от электронного строения, состава и технологических параметров; Свойства пленок теллуридов свинца-олова, полу-ченных магнетронным распылением. //Соавторы: Н.И.Бойкин, А.В.Кангро,Ф.Г.Алиев.-V Республ.семинар по физике и техно-логии тонких пленок.-Иваново-Франковск: 16-21 мая 1983. Квантово-флюктуационная модель строения тугоплавких |
|
|