"Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Учебное пособие для вузов по специальностям «Полупроводники и диэлектрики» и «Полупроводниковые приборы»" - читать интересную книгу автора (Авторы: А.И.Курносов, В.В.Юдин.)