"Выращивание полупроводниковых гетероструктур с квантовыми точками InAs/GaAs методом методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений: Описание лабораторной работы" - читать интересную книгу автора (Байдусь Н.В., Звонков Б.Н.)